Polovodičový průmysl
Polovodičový průmysl
Polovodiče
Využijte technologickou odbornost Swagelok v oblasti polovodičových fluidních systémů a procesů, včetně nanášení atomové vrstvy (ALD), nanášení mědi, kobaltu, chemického nanášení vrstev (CVD), fyzikálního nanášení vrstev (PVD), chemické mechanické planarizace a čištění křemíkových plátků. Využijte pomoci Swagelok ke splnění svých cílů v oboru ultračisté výroby. Můžete věřit, že vám Swagelok zajistí potřebné výrobky tak, abyste mohli spolehlivě vyrábět své produkty.
Procesy depozice
Swagelok má řešení pro depozici látek na substráty ať vaše procesy zahrnují postupy ALD pro výrobu konformních vrstev nebo postupy PVD a CVD pro aplikaci částic plynovou směsí.
Chemické mechanické leštění/Planarizace (CMP)
Výrobky Swagelok poskytují řešení přívodu plynů a kapalin pro aplikace využívající účinků chemických a mechanických sil k zajištění hladkých křemíkových plátků.
Čištění křemíkových plátků
Agresivnější chemikálie používané pro čištění plátků vyžadují robustní řešení pro přepravu nebezbečného média bez poškození substrátů. Výrobky Swagelok zajišťují přívod média bez netěsností i v náročných podmínkách.